با تلاش محققان دانشگاهی صورت گرفت
كاهش عیوب میكروپردازنده ها و ادوات جدید ذخیره سازی اطلاعات
پژوهشگران دانشگاه صنعتی امیرکبیر به ساخت و بررسی خواص نانومکانیکی ذرات ساینده هسته/پوسته ای رسیدند که در پروسه مسطح سازی مکانیکی-شیمیایی و در صنایع نیمه هادی به کار می آید.
به گزارش کارا پیام به نقل از ایسنا، دکتر حمید اکبری معیر، دانش آموخته دانشگاه صنعتی امیرکبیر و مجری طرح با اعلان اینکه این پروژه با عنوان "ساخت و بررسی خواص نانومکانیکی ذرات ساینده هسته/پوسته مورد استفاده در پروسه مسطح سازی مکانیکی-شیمیایی (CMP)" در این دانشگاه اجرائی شده است، اظهار داشت: باتوجه به خواص منحصر به فرد ذرات هسته/پوسته و اینکه می توان مزایای مختلفی را بطور همزمان در یک ساختار به دست آورد، این ساختارها در کاربردهای متنوعی همچون کاتالیستی، سلول های خورشیدی، زیست فناوری و دارورسانی مورد توجه قرار گرفته اند.
وی با اعلان اینکه این ساختارها هم از لحاظ علمی و هم از لحاظ فناوری جذاب هستند، چون خواص آنها با خواص هسته و پوسته متفاوت می باشد و با انتخاب مناسب اجزاء می توان مزایای مختلفی را در یک ساختار تجمیع کرد، اضافه کرد: باتوجه به خواص مکانیکی منحصر به فرد ذرات هسته/پوسته متشکل از هسته پلیمری و پوسته سرامیکی، استفاده از آنها بعنوان ساینده در پروسه مسطح سازی مکانیکی-شیمیایی (CMP) موجب کاهش نقاط تمرکز تنش روی سطح و متعاقبا کاهش عیوب سطحی ویفر خواهد شد.
اکبری معیر افزود: در این راستا بمنظور دستیابی به کارایی بالا در میکروپردازنده ها و ادوات جدید ذخیره سازی اطلاعات، مسطح سازی سطوح یکی از مهمترین مراحل فرآوری نیمه هادی ها است. باتوجه به کاهش ابعاد ادوات الکترونیکی، علاوه بر مسطح بودن سطوح، صیقلی بودن و بدون عیب بودن آنها نیز بسیار حائز اهمیت می باشد. پروسه CMP فرآیندی است که همزمان به طور شیمیایی و مکانیکی از سطح باربرداری می کند و سطح نهایی مسطح و صیقلی شکلی به دست می آید.
وی با اعلان اینکه یکی از پارامترهای موثر در این پروسه ذرات ساینده هستند، اظهار داشت: به طور متداول از ذرات سرامیکی برای این منظور استفاده می شود، ولی ذرات هسته/پوسته کارایی بهتری نسبت به این ذرات دارند.
اکبری معیر با اعلان اینکه وجود هسته آلی در این ساختار منجر به قابلیت تراکم پذیری تحت نیروی اعمالی می شود که به اثر بالشی مشهور است، اظهار نمود: هسته پلیمری به سبب انعطاف پذیری بیشتر، در اثر اعمال نیروی خارجی به آسانی تغییر شکل الاستیک پیدا کرده و شکلش را منطبق با پستی و بلندی های سطحی می کند، در نتیجه نقاط تمرکز تنش کمتر شده و امکان ایجاد عیوب سطحی کاهش پیدا می کند.
وی با اشاره به روند کار اظهار داشت: ابتدا ذرات پلی استایرن به روش پلیمریزاسیون امولسیونی بدون صابون و در ادامه ذرات هسته/پوسته متشکل از ذرات پلی استایرن بعنوان هسته و لایه سیلیکا بعنوان پوسته بر پایه روش اشتوبر سنتز شد و در بخش دوم خواص نانومکانیکی ذرات مورد بررسی قرار گرفت. در بخش سوم با انجام شبیه سازی به روش دینامیک مولکولی، نانوذرات تحت بارگذاری قرار گرفته و رفتار مکانیکی آنها مطالعه شد.
مجری طرح با اشاره به نتایج این پروژه اظهار داشت: با توجه به این که این پژوهش با بهره گیری از دستگاه میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) ساخت یکی از شرکت های دانش بنیان انجام شد، چالش هایی در مرحله اندازه گیری و محاسبه خواص نانومکانیکی وجود داشت که ایده هایی بمنظور کاربری آسان تر و سریع تر دستگاه در این حالت کاری پیشنهاد شد.
وی اضافه کرد: کاربرد این ذرات در صنایع نیمه هادی است که در این راستا صحبت هایی با صنایع مرتبط انجام شده. همین طور ارتقای مدلهای آتی AFM ساخت یکی از شرکتها در برنامه کاری شرکت قرار گرفته است.
بر اساس اعلام دانشگاه امیرکبیر، این پروژه با هدایت و راهنمایی دکتر مالک نادری عضو هیئت علمی دانشگاه صنعتی امیرکبیر اجرائی شده است.
این مطلب را می پسندید؟
(1)
(0)
تازه ترین مطالب مرتبط
نظرات بینندگان در مورد این مطلب